Extreme Präzision in der Halbleiterfertigung
Halbleiter-Wafer stehen für extreme Präzision, Reinheit und maximale Prozesskontrolle. Die Fertigung erfolgt in Reinräumen (ISO-Klasse 1 bis 5), da mikroskopische Partikel die modernen Chip-Strukturen bereits überschreiten können. Positioniergenauigkeit im Nanometer-Bereich mit höchster Wiederholgenauigkeit ist erforderlich. Thermische Prozesse überschreiten...